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HOME 製品紹介 Closed Loop Automation CLASS MCS

製品紹介

Closed Loop Automation 搬送管理システム CLASS MCS 〜業界標準I/F仕様に準拠したサードパーティMCSパッケージ
カタログ参照
■ 製品概要

半導体ウェハ工場では、一貫した信頼性の高い搬送が、最高のスループットを左右します。自動化工場において、このような水準の効率を保証するためには、実績ある搬送管理システム(MCS)を採用し、統合することが重要となります。
CLASS MCSは、半導体工場のロット、レチクル、LCDパネル、およびその他の材料の搬送・保管を行うリアルタイムの搬送管理システムです。信頼性と柔軟性に優れたCLASS MCSは、市販製品のなかで最も実績のあるMCSです。すべての主要な半導体メーカを含め、世界各地に導入実績を持つCLASS MCSは、その優れた信頼性と処理能力を繰り返し証明してきました。

■ 製品特長
  • 業界標準準拠: SECS I/II, GEM, HSMS, StockerSEM, IBSEM
  • ノン・ストップでの機器構成更新、サーバ追加
  • AMHSベンダ インターオペラビリティ
  • ダイナミックな搬送ルーティング
  • バッチ搬送
  • ストッカ・装置グルーピング機能
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