工場では、どのプロセス装置よりも、露光装置に多くの投資を行っています。したがって、
露光装置の使用効率を最大化し、ROIと歩留まりを可能な限り向上させることが重要です。
iDurableは、処理に必要な正しいレチクルのロケーションと可用性を継続的にトラッキングすることで、アイドル・タイムやオペレータによるミスを解消します。製造実行システム（MES）および搬送管理システム（MCS）と統合すれば、iDurableは、正しいレチクルを正しい露光装置に、まさに正確なタイミングでディスパッチすることができます。