SPACEはスタンドアロンのSPCアプリケーション・パッケージ・ソリューションです。計測データやプロセスデータの発生時にSPCにより判定し異常を発見・通知することにより、不具合を発生させない仕組みを作ることができます。SPACEはFACTORYworksTM MESの標準EDC/SPC機能として総合的なMES-SPCソリューションを提供します。SPACEはFACTORYworksTMの全てのエンジニアリングデータ収集に対してルール違反の処理ができるようにあらかじめ構成されています。イベントのトリガーによりロット保留・レシピのリリース・装置ステータスダウンといったアクションを発生させることができます。 |