今日の半導体メーカは、生産性の最大化、装置稼働率の向上、スクラップの削減、および全体的な運用コストの低下を実現するために、パフォーマンスを最適化することが求められています。最適化のためには、複雑さを増す工場自動化ハードウェアおよびソフトウェア・コンポーネントを多様な製造装置と統合しなければなりません。STATIONworksは、全体的な装置自動化ソリューションをすばやく展開できる強力な汎用製品を提供することで、自動化プロセスの簡素化と迅速化を可能にします。
STATIONworksは、工場システム全体の統合を実現するために多数のソフトウェア・パッケージとの接続をサポートしており、現在、iAutomateTM、FACTORYworks(R)、EDC/SPC、CELLworks(R)、PatternsTM、Sentinal APCTM、PhotoStationTMなどとの統合ポイントを提供しています。また、450種類以上の装置ドライバも提供していますので、各種の製造装置を容易に接続することができます。さらに、ステーション・コントローラの開発、設定、および導入ツールを提供することで、迅速かつ容易なシステム開発を支援します。
STATIONworksを使用すれば、ステーション・コントローラの開発、設定、および導入が極めて容易になります。STATIONworksのステーション・コントローラは状態マシンに基づいて動作します。状態マシンには、ツールのプロセス・フローおよびフローの各ステージで行われる動作が記述されています。STATIONworksでは、シングルスレッドおよびマルチスレッドの垂直フローのモデリングを、シングルチャンバ、マルチチャンバ、マルチポート、またはロボット対応装置の自動化に使用するのと同じ手法で実行できます。
状態マシンの開発は、独自のビジュアルなステーション開発環境、STATIONworks IDEで行われます。STATIONworks IDEを使用すれば、ドラッグ＆ドロップ操作と使いやすいウィザードでステーション制御ロジックを作成できます。STATIONworks IDEでは状態マシンの定義方法として業界標準のHarel表記を採用しています。Harel表記では、状態（State）、遷移（Transition）、トリガ（Trigger）、動作（Action）といった標準的な項目を使用して、状態マシンで使用されるオブジェクトを作成します。STATIONworksステーションの設定および導入も、STATIONworksのGUIツールで容易に実行できます。
STATIONworks IDE(Interactive Development Environment)には、ドラッグ&ドロップ操作のダイアグラム、すばやく簡単なツリー・ビュー、直観的に使える便利なウィザードが含まれています。
STATIONworksには、装置との統合をすばやく簡単に行うために450種類以上の装置ドライバが用意されています。Applied社は新しいドライバを標準データベースに常時追加していますので、お客様はいつでも新しいドライバを利用できます。また、必要に応じてカスタム・ドライバを開発することも可能です。
STATIONworksの装置ドライバはすべて、物理的に接続された際に装置との適合性を自動確認する機能を備えています。さらに、物理的に接続する前に動作テストを行うことができる装置シミュレータも提供しています。
STATIONworksのサービスは、外部のソフトウェア・システムおよび装置との接続をサポートしています。これらのサービスは、STATIONworks製品全体を定義する標準的なオブジェクト指向アーキテクチャに準拠しています。
他のApplied社製ソフトウェア・パッケージとの接続は、コーディング不要で、設定するだけですぐに使える標準機能として提供されています。
カスタム仕様の接続や機能も、STATIONworksのカスタム・サービスを記述することで容易に追加できます。これらのサービスは、ご要望に応じてApplied社が開発することも、お客様が直接開発することも可能です。
STATIONworksのランタイム実行可能モジュールは、起動時に状態マシン、装置ドライバ、およびステーション固有のパラメータをメモリにロードすることで、高速なランタイム環境を実現します。装置や外部システムとの接続は多様な方法が行われます。
装置との接続には、SECSまたはHSMS通信のSECS/GEM/VFEIメッセージが使用されます。MESやAPCアプリケーションといった外部ソフトウェア・システムは、COM、DCOM、TCP/IP、MBXやMSMQなどのメッセージ・バス、またはSTATIONworksのフレームワークにプラグインされるその他のインターフェイスを使用できます。
STATIONworksは、半導体業界で使用される最も重要なソフトウェア規格に準拠しています。これらの規格の新バージョンがリリースされた場合には、STATIONworksもアップデートされます。現在サポートしている規格は次のとおりです。
STATIONworksは、Applied社およびサードパーティ製ソフトウェア・パッケージとの接続をサポートしています。STATIONworksがサポートするアプリケーションとそのバージョンは次のとおりです。iAutomate 1.1、FACTORYworks 2.4および2.5.1、EDC/SPC 3.0aおよび3.0b、CELLworks 5.2a、5.3、および5.3.1、WinSECS 2.4および2.5、FASTcontroller 2.0、WinClientTM 2.2および2.3、Microsoft Message Queue 1.0および2.0、TIB Rendezvous 7.0
