クリーンルーム内に設置されている加工、検査、搬送装置等の稼動状況を把握し、突発的なダウンタイミング及び保全時間・内容を履歴管理。実際の計画保全作業にフィードバックし突発的なダウンを軽減いたします。
保全業務で使用された交換パーツ費用、作業費用等を多様的に解析し、ダウン要因頻度や装置機差の把握を可能にいたします。